定制慣性傳感器

定制化生產(chǎn)高精度微機電系統(tǒng)（MEMS）慣性傳感器
日前，F(xiàn)irst Sensor集團宣布其高精度硅電容式慣性傳感器順利通過認證，計劃于2017年4月投入批量生產(chǎn)。此種用于測量傾角、加速度和振動的傳感器由多個部件組成，其中包括根據(jù)已獲磚利的微機械技術（高寬比微結構（HARMS）與氣隙絕緣微結構（AIM））制造的硅傳感器元件以及集成至密閉型表面貼裝器件（SMD）殼體內的專用集成電路信號處理元件。根據(jù)帶寬不同，慣性傳感器的分辨率*高可達10μg或0.0005°（2角秒），且可適配客戶不同應用領域的機械和電氣要求。此外，F(xiàn)irst Sensor集團還提供評估套件，可用于方便快捷地評價和配置傳感器。

相比市場上現(xiàn)有其他設備，F(xiàn)irst Sensor的高精度慣性傳感器具有**的性能特點和優(yōu)良性價比。得益于高寬比微結構（HARMS），該系列無涂覆單晶硅微結構具有極低交叉軸靈敏度，能夠實現(xiàn)高信噪比和優(yōu)異的溫度穩(wěn)定性。此外，已獲磚利的高柔性AIM（氣隙絕緣微結構）技術通過氣隙對組件進行隔離，從而*大限度減小寄生電容。傾角計能夠在10Hz測量頻率下提供±30°的測量范圍，可實現(xiàn)小于0.0004°/√Hz的噪聲密度與小于0.0015°的分辨率。First Sensor的加速度計提供±3g、±8g和±15g測量范圍可選，能夠在10Hz測量頻率下實現(xiàn)小于30μg/√Hz的噪聲密度與小于40μg至95μg的分辨率。

• 已獲磚利的微機電系統(tǒng)微機械傳感器元件（HARMS和AIM）
• 搭載數(shù)字輸出信號的可配置型專用集成電路信號處理元件
• 高信噪比，分辨率可達10μg或0.0005°（2角秒）
• 可根據(jù)客戶的個性化應用需求靈活定制

First Sensor的新型高精度傾角儀和加速度計可廣泛用于工業(yè)、航空、建筑和醫(yī)療技術等領域。典型應用領域包括地質工程、狀態(tài)監(jiān)測、慣性導航系統(tǒng)、機器人、準直及調平等。