SONOTEC®為高純半導(dǎo)體應(yīng)用開發(fā)并全球分銷新型鉗式流量計(jì)
由于半導(dǎo)體工業(yè)的特點(diǎn)是采用了多種液體流動(dòng)工藝，其中使用了不同的磨蝕性，粘附性，腐蝕性和超純液體，因此保持這些工藝的**性，穩(wěn)定性和高質(zhì)量至關(guān)重要。 SEMIFLOW流量計(jì)是專門為滿足半導(dǎo)體行業(yè)特定領(lǐng)域的需求而設(shè)計(jì)的。這些傳感器現(xiàn)已在整個(gè)SONOTEC®分銷網(wǎng)絡(luò)中全球發(fā)售。
SEMIFLOW流量傳感器是經(jīng)過行業(yè)驗(yàn)證的儀表，結(jié)合了對魯棒設(shè)計(jì)的需求的鉗式設(shè)計(jì)，可消除任何污染和泄漏的風(fēng)險(xiǎn)，而不會造成系統(tǒng)停機(jī)的麻煩。由于它們的緊湊型外殼帶有板載電子設(shè)備和分析單元，因此流量計(jì)的大小與單個(gè)傳感器一樣小，因此可以輕松地集成到現(xiàn)有的過程鏈和體系結(jié)構(gòu)中。 SEMIFLOW傳感器具有不同的傳感器和通道尺寸，適用于各種管尺寸。它們非常適合PFA，PTFE和其他硬塑料管材。
經(jīng)現(xiàn)場驗(yàn)證的技術(shù)可用于復(fù)雜的半導(dǎo)體應(yīng)用
液體流量測量在晶圓制造中起著重要作用，在晶圓制造中，在不同的濕法工藝中使用了幾種磨蝕性，粘附性和腐蝕性液體。例如，在單晶片或批量清潔過程中，監(jiān)視清潔溶液的流量至關(guān)重要。如果劑量不足或過量，則必須重復(fù)清潔過程，并需要額外的資源。在*壞的情況下，晶片會變得有缺陷，并造成巨大的價(jià)值損失。因此，準(zhǔn)確的流量測量對于有效利用生產(chǎn)資源至關(guān)重要。除了將其集成到晶圓清洗設(shè)備中之外，SEMIFLOW流量計(jì)還已成功應(yīng)用于光刻和混合設(shè)備，化學(xué)藥品供應(yīng)系統(tǒng)和漿料生產(chǎn)線中。
SONOTEC®從事非接觸式超聲波流量測量設(shè)備的業(yè)務(wù)活動(dòng)已有幾十年了
SEMIFLOW傳感器的開發(fā)受益于數(shù)十年的非接觸式超聲流量傳感器設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)，這些傳感器用于生物制藥以及具有嚴(yán)格**法規(guī)的醫(yī)療設(shè)備中的高靈敏度應(yīng)用。因此，某些傳感器的性能特征，例如高達(dá)400 L / min的高精度實(shí)時(shí)瞬時(shí)流量測量，體積累加器的實(shí)現(xiàn)，廣泛的標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)接口以及處理各種管道的專業(yè)知識特性和幾何形狀已成功應(yīng)用于SEMIFLOW傳感器系列。
超聲波SEMIFLOW流量計(jì)利用的物理原理
SEMIFLOW傳感器配備有四個(gè)以X型排列的超聲換能器。換能器從一側(cè)到另一側(cè)發(fā)出給定頻率的脈動(dòng)超聲波，這些換能器測量超聲波在液體的流動(dòng)方向上和逆著液體流動(dòng)方向的飛行時(shí)間。所產(chǎn)生的時(shí)間差與平均流速成正比。流量由該平均流速和管道橫截面積的乘積得出。
過渡時(shí)間方法既不會導(dǎo)致管內(nèi)壓力下降，也不會造成泄漏風(fēng)險(xiǎn)。經(jīng)過適當(dāng)?shù)男?zhǔn)，傳輸時(shí)間幾乎可以影響所有液體的粘度，密度，顏色和電磁特性。不需要離子和顆粒物質(zhì)來計(jì)算測量值。
