LDE/LME 系列流量傳感器 – 應(yīng)用指南

 測(cè)量原理LDE/LME 微差壓傳感器來自于德國(guó)Sensortechnics 可以測(cè)量超低氣體壓力， 滿量程僅僅 25 Pa (0.1 in H2O) 。這種傳感器是基于**到 MEMS 技術(shù)，這種技術(shù)是在硅傳感器芯片上內(nèi)置微流體通道。同時(shí)，傳感器使用成熟的熱質(zhì)量流量測(cè)量來推算壓差原理（圖1）。 一個(gè)加熱元件位于兩個(gè)溫敏電阻之間。氣流從上游向下游電阻傳遞熱量，導(dǎo)致它們之間的溫度差，結(jié)果產(chǎn)生與質(zhì)量流量成比例的電壓信號(hào)。 由于流量是由兩個(gè)傳感器端口之間的壓力差引起的， 所以輸出信號(hào)也是施加壓差的量度。

圖2顯示了LDE / LME傳感元件作測(cè)量不同的壓力得到的非放大輸出。 LDE / LME技術(shù)具有高動(dòng)態(tài)范圍和高靈敏度， 對(duì)于低壓特別是在接近零點(diǎn)領(lǐng)域。 LDE / LME傳感器提供模擬信號(hào)調(diào)理校準(zhǔn)，溫度補(bǔ)償和放大。 他們可以針對(duì)不同應(yīng)用需求進(jìn)行了優(yōu)化，無論是需要高靈敏度，高動(dòng)態(tài)范圍或線性輸出信號(hào)。